포스텍 김진곤 교수, 리소그라피 기술 개발

포스텍 연구팀이 차세대 나노 크기의 패터닝(patterning) 공정에 응용할 수 있는 별 모양의 고분자 조합체인 '블록공중합체'를 이용한 유도자기조립 리소그라피 기술을 개발, 눈길을 끌고 있다.

이에 따라 열처리나 용매처리가 모두 필요치 않아 산업계에 바로 적용시킬 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다.

포스텍 화학공학과 지능형 블록공중합체 연구단 김진곤(사진) 교수를 비롯해 박사과정 장상신씨 연구팀, 서울대 화학생물공학부 이원보 교수팀은 열처리나 용매 처리 과정 없이 나노구조를 기판 위에 수직으로 배열할 수 있는 기술 개발에 성공했다.

이에 지난 9일 재료분야 권위지인 어드밴스드 펑셔널 머터리얼스(Advanc ed Functional Materials)지를 통해 발표됐다.

연구팀은 그간 사용돼 오던 블록공중합체의 모양을 선형 형태에서 별모양으로 설계했다.

별 모양 사슬의 구조 때문에 기판 표면을 자발적으로 중성화시킬 수 있어 금속이나 반도체, 구부러지는 고분자 기판 등 어떤 종류의 기판에도 나노구조를 수직으로 형성할 수 있게 됐다.

연구를 주도한 김진곤 교수는 "점차 작아지는 반도체에 필요한 복잡한 공정이나 높은 생산비 없이도 손쉽게 나노패턴을 만들 수 있다"면서 "차세대 반도체용 패턴 공정뿐만 아니라 구부러지는 기판에도 적용이 가능해 웨어러블 스마트기기의 고집적화에도 도움이 될 것"이라고 밝혔다.
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