SK머티리얼즈는 영주공장에서 합작 자회사인 SK쇼와덴코의 식각가스 생산공장 착공식을 가졌다고 27일 밝혔다.

식각가스란 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수가스이다.

특히 SK쇼와덴코가 생산할 가스는 3D 낸드 적층화에 따라 사용량이 급증하고 있는 CF계 식각가스이다.

총사업비 210억 원이 투입될 이번 공장은 오는 12월 준공되면 세계 최대 규모인 연간 20t 규모의 식각가스를 생산하게 된다.

SK쇼와덴코는 반도체, 디스플레이용 특수가스 제조회사인 SK머티리얼즈와 세계 식각가스 생산 1위 기업인 일본 쇼와덴코의 합작회사이다.

전량 수입에 의존하고 있는 3D낸드용 고부가가치 식각가스의 국산화를 위해 지난해 12월 합작법인 설립 계약을 체결하고 지난달 1일 SK머티리얼즈 51%, 일본 쇼와덴코 49%의 지분율로 법인설립을 완료했다.

이규원 SK쇼와덴코 대표는 “올해 공장 건설기간 동안 안전 관리에 집중해 사고없는 안전한 건설에 최선을 다하겠다”며 “향후 SK쇼와덴코를 세계적인 식각가스 회사로 키워 나갈 것”이라고 말했다.

한편 SK머티리얼즈는 반도체 디스플레이 특수가스 제조회사로 주력 생산 제품인 NF3(삼불화질소)는 글로벌 시장점유율 40%(세계 1위) 이상으로 세계 반도체 소재 시장을 선두하고 있는 대표적 기업이다.

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