포스텍 노용영 교수
미국드라마 ‘히어로즈’나 영화 ‘아바타’등에서 등장한 투명한 모니터, 투명한 휴대폰, 아침마다 날씨 정보를 보여주는 스마트 창문 등 투명한 전자회로와 투명 디스플레이에 대한 관심은 점차 커지고 있다. 그간 낮은 성능으로 상용화에 어려움이 있었던 투명 P형 반도체 소재가 개발됐다.

포스텍 화학공학과 노용영 교수, 박사과정 아오리우씨(Ao Liu) 연구팀은 성균관대학교 재료공학부 김명길 교수와 함께 구리 요오드(copper iodide, CuI)를 이용해 고성능 투명 P형 반도체를 개발함으로써 P형 트랜지스터의 성능과 안정성을 크게 향상시켰다. 이 연구성과는 국제학술지 ‘네이처 커뮤니케이션즈(Nature Communications)’에 8월 27일자로 게재됐다.
새로 개발된 반도체의 구조와 전자 구조 이 연구에서 사용된 투명반도체의 전자구조에 대한 계산 결과(a) 구리 요오드 (CuI)의 단일격자구조, 구리 (Cu)의 공격자점과 Cu+ 에 도핑을 설명하는 모식도 (b) 위는 3% Cu 공격자점 포함한 전자 밴드 구조, 아래는 Zn2+-치환도핑된 3% Cu 공격자점 포함한 CuI의 전자 밴드 구조, (c) 대표적인 도핑 양이온의 반지름과 배위
투명전자 소재에는 전자를 이동시키는 N형 반도체와 정공(hole)이 이동하는 P형 반도체가 모두 필요하지만, 금속산화물 기반 소재의 특성상 지금까지 N형 반도체만 존재하고, P형은 전하이동도가 매우 낮은 단점이 있었다.

구리요오드는 훌륭한 광전자적 특성을 가지고 있을 뿐 아니라, 100도 이하의 낮은 공정온도에서 용액 공정을 통해 박막을 제조할 수 있다. 그러나 박막으로 제조할 때 다량의 구리(Cu) 공격자점이 생겨나고, 이 때문에 정공 도핑이 과하게 필요해 트랜지스터로 개발하기 어려웠다.
새로 개발된 반도체를 적용한 트랜지스터 성능 결과 (a) 여러 양이온으로 도핑된 CuI 박막트랜지스터 성능 (갈륨Ga3+,아연Zn2+,니켈Ni2+,비스무스Bi3+,납 Pb2+,and 주석 Sn4+) (b,c) 아연 Zn 도핑 정도에 따른 박막트랜지스터 성능 (d) 5 mol% 농도로 아연이 도핑된 구리 요오드 (Zn-doped CuI) 박막트랜지스터의 출력곡선 (e) Zn 도핑 정도에 따른 전압 인가 안정성 안정성 (f) 5 mol% 농도로 아연이 도핑된 구리 요오드 박막트랜지스터의 온도에 따른 이동도 변화
연구팀은아연(Zn) 도핑을 이용한 화학적 용액 공정으로 투명한 P형 아연이 도핑된 구리 요오드(Zn-doped CuI) 반도체를 개발하고, 이를 통해서 고성능의 투명 박막트랜지스터와 전자회로를 만드는데 성공했다.

섭씨 100도의 낮은 공정온도에서 제작된 박막트랜지스터는 5이상의 높은 정공 이동도와 백만 이상의 높은 전류점멸비를 획득했다. 이는 현재까지 보고된 금속산화물과 금속 할로젠화물(halide) 투명 P형 반도체 중 세계에서 가장 높은 성능이다.
새로 개발된 반도체를 적용한 트랜지스터 성능 결과 웨이퍼 범위의 유사성, n-channel 인듐갈륨징크 옥사이드 IGZO 박막트랜지스터를 활용한 상보형 인버터 CMOS inverter (a) 점선으로 표현한 측정된 5 mol% 농도로 아연이 도핑된 구리 요오드 CuI:Zn5mol% TFT 배열 (b,c) 96개 TFTs로부터 측정한 이동도 분포와 전류점멸비 on/off current ratio (d,e,f) p-CuI-Zn/SiO2와 n-IGZO/SiO2 TFT를 활용한 인버터 성능, 게인, 잡음여유
특히, 연구팀은 아연이 도핑된 구리 요오드 반도체를 다양한 용매에 용해해 잉크로 제조하는 기술을 개발했다. 이는 간단한 인쇄공정으로 고성능 투명 P형 트랜지스터를 만들 수 있어, 제조공정 가격을 획기적으로 낮출 수 있을 것으로 기대된다.

이 연구는 과학기술정보통신부가 지원하는 글로벌 프론티어 사업, ‘나노기반 소프트일렉트로닉스 연구단(단장: POSTECH 조길원 교수)’과 한국연구재단이 지원하는 전략과제의 지원으로 이뤄졌다

연구를 주도한 노용영 교수는 “이번 연구에서 개발된 투명 P형 반도체 소재는 기존의 산화물 N형 반도체와 함께 투명 디스플레이, 투명 전자회로 및 광전자 소자에 향후 널리 사용될 것으로 기대된다”고 말했다.

곽성일 기자
곽성일 기자 kwak@kyongbuk.com

행정사회부 데스크

저작권자 © 경북일보 무단전재 및 재배포 금지