포스텍(포항공과대학교) 나노융합기술원과 ㈜애플티(대표 이민근)가 27일 나노융합기술원 본원(FAB1)에서 양 기관 대표 및 관계자들이 참석한 가운데 ‘파워 반도체 연구 장비 구축을 위한 상호 이행 협약’을 체결했다.

㈜애플티는 2004년 설립된 반도체 장비 제조 및 엔지니어링 전문 강소기업으로 포스텍 나노융합기술원은 이번 협약을 통해 반도체 공정 개발과 인력 교육, 장비 운영 등 분야에서 협력을 진행한다.

특히, ㈜애플티는 반도체 공정 핵심 장비인 트랙(Track)을 포스텍 FAB1에 설치해 현장에서의 공정 성능을 함께 평가할 예정이다. 이 분야는 네덜란드(ASML)나 일본(TEL) 등 해외 의존도가 높은 분야로 양 기관은 우수한 나노 인프라를 활용해 국산 반도체 장비 개발을 지원하는 새로운 사례를 만들고자 한다.

이병훈 포스텍나노융합기술원장은 “이번 협약을 통해 파워 반도체 테스트베드 플랫폼 기술 역량을 확장하고, 반도체 장비 국산화에 기여해 빠르고 효율적인 반도체 팹 기반 연구지원 역량을 구축해 갈 계획이다“라고 전했다.

한편, 포스텍 나노융합기술원은 와이드 밴드 갭(WBG) 물질인 SiC(탄화규소)와 GaN(질화갈륨) 기반으로 파워 반도체 공정에 특화된 시설과 장비, 인력을 보유하고 있다. 또한, 지난 2019년 첨단 반도체 분야 국가연구시설(N-Facility)로도 지정돼 파워 반도체 테스트베드의 역할을 수행해오고 있다.